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蒸發(fā)臺行星鍋是干什么用的?以及它的工作原理

發(fā)布時(shí)間:2024-03-29

蒸發(fā)臺行星鍋通常指的是電子束蒸發(fā)臺的高效行星鍍鍋裝置,屬于蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域。其作用是在蒸鍍過(guò)程中,通過(guò)行星鍋的轉動(dòng),使基片能夠均勻地接受蒸發(fā)物質(zhì)的沉積,從而提高蒸鍍的均勻性和質(zhì)量。

在半導體制造中,蒸發(fā)臺行星鍋的主要作用是將蒸發(fā)物質(zhì)均勻地分布到基材表面。蒸發(fā)物質(zhì)可以是金屬、半導體或其他材料,通過(guò)加熱蒸發(fā)或電子束蒸發(fā)等方式產(chǎn)生蒸汽,然后蒸汽在行星鍋內旋轉,使得基材表面能夠均勻地接觸到蒸發(fā)物質(zhì),從而形成薄膜。

蒸發(fā)臺行星鍋的工作原理是: 蒸發(fā)物質(zhì)被放置在蒸發(fā)源中,通過(guò)加熱或電子束轟擊等方式使其蒸發(fā)成為蒸汽。蒸發(fā)的蒸汽被引入到蒸發(fā)臺行星鍋中,并在其中與基片接觸。在蒸發(fā)臺行星鍋的轉動(dòng)下,基片能夠均勻地接受蒸發(fā)物質(zhì)的沉積,從而提高蒸鍍的均勻性和質(zhì)量。蒸鍍完成后,蒸發(fā)物質(zhì)和剩余的蒸汽被抽走,基片被取出進(jìn)行后續處理。







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